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PubPharm (3)
1
Multiparameter optimization design of chemical mechanical polishing for planar optics
enthalten in:
The international journal of advanced manufacturing technology
| 2021
von
Cao, M.
|
Zhao, H.
|
Xie, R.
| +3
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2
Multiparameter optimization design of chemical mechanical polishing for planar optics
enthalten in:
The international journal of advanced manufacturing technology
| 2021
von
Cao, M.
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Zhao, H.
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Xie, R.
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Multiparameter optimization design of chemical mechanical polishing for planar optics
enthalten in:
The international journal of advanced manufacturing technology
| 2021
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The international journal of advanced manufactu...
Thema
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Chemical mechanical polishing
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Fuzzy theory
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Multiparameter optimization
3
Planar optics
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