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Search /vufind/Search2/Results?filter%5B%5D=topic_facet%3A%22Journal+Article%22&filter%5B%5D=topic_facet%3A%22MEMS%22&lookfor=%22Wang%2C+Junbo%22&type=Person
PubPharm (8)
1
A MEMS Electrochemical Seismometer Based on the Integrated Structure of Centrosymmetric Four Electrodes
enthalten in:
Micromachines
| 2022
von
Duan, Y.
|
Zhong, A.
|
Lu, Y.
| +3
Wird geladen...
2
A MEMS Electrochemical Angular Accelerometer Leveraging Silicon-Based Three-Electrode Structure
enthalten in:
Micromachines
| 2022
von
Chen, M.
|
Zhong, A.
|
Lu, Y.
| +3
Wird geladen...
3
A MEMS-Based Co-Oscillating Electrochemical Vector Hydrophone
enthalten in:
Micromachines
| 2022
von
Zhong, A.
|
Chen, M.
|
Lu, Y.
| +3
Wird geladen...
4
Temperature Compensation of the MEMS-Based Electrochemical Seismic Sensors
enthalten in:
Micromachines
| 2021
von
Xu, C.
|
Wang, J.
|
Chen, D.
| +5
Wird geladen...
5
MEMS-Based Electrochemical Seismometer Relying on a CAC Integrated Three-Electrode Structure
enthalten in:
Sensors (Basel, Switzerland)
| 2021
von
She, X.
|
Wang, J.
|
Chen, D.
| +5
Wird geladen...
6
A Temperature-Insensitive Resonant Pressure Micro Sensor Based on Silicon-on-Glass Vacuum Packaging
enthalten in:
Sensors (Basel, Switzerland)
| 2019
von
Yan, P.
|
Lu, Y.
|
Xiang, C.
| +3
Wird geladen...
7
A Resonant Pressure Sensor Based upon Electrostatically Comb Driven and Piezoresistively Sensed Lateral Resonators
enthalten in:
Micromachines
| 2019
von
Shi, X.
|
Zhang, S.
|
Chen, D.
| +5
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8
A Resonant Pressure Microsensor Based on Double-Ended Tuning Fork and Electrostatic Excitation/Piezoresistive Detection
enthalten in:
Sensors (Basel, Switzerland)
| 2018
von
Shi, X.
|
Lu, Y.
|
Xie, B.
| +4
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1
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3
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Thema
Journal Article
MEMS
2
double-ended tuning forks
2
electrochemical seismometer
2
resonant pressure microsensor
1
angular accelerometer
1
centrosymmetric four electrodes
1
co-oscillating vector hydrophone
1
comb drive
1
electrochemical principle
1
electrochemical seismic sensor
1
electrochemical vibration sensor
1
electrostatic excitation
1
electrostatic excitation/piezoresistive detection
1
high performance
1
integrated three-electrode structure
1
noise level
1
piezoresistive detection
1
resonant pressure micro sensor
1
sensitivity
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Erscheinungszeitraum
5
2020-
3
2010-2019
Erscheinungsjahr(e)
Von:
Bis:
Sprache
8
Englisch
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