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journalStr:"Journal of the Electrochemical Society"
publishDate:"[2010 TO 2010]"
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PubPharm (1)
1
Wet Chemical Etching of Si, Si1-xGex, and Ge in HF:H2O2:CH3COOH
enthalten in:
Journal of the Electrochemical Society
| 2010
von
Holländer, B.
|
Buca, D.
|
Mantl, S.
| +1
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Zeitschrift: Journal of the Electrochemical Society
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Erscheinungsjahr: 2010-2010
Medienart
1
Aufsätze
1
Gedruckte Aufsätze
Zeitschriftentitel
Journal of the Electrochemical Society
Erscheinungszeitraum
2010-2010
Erscheinungsjahr(e)
Von:
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