Chen, C., Zhao, W., Pang, T., & Lin, Y. (2020). Virtual metrology of semiconductor PVD process based on combination of tree-based ensemble model. ISA transactions, 103, p. 192. doi:10.1016/j.isatra.2020.03.031
Chicago ZitierstilChen, Ching-Hsien, Wei-Dong Zhao, Timothy Pang, and Yi-Zheng Lin. "Virtual Metrology of Semiconductor PVD Process Based On Combination of Tree-based Ensemble Model." ISA Transactions 103 (2020): 192.
MLA ZitierstilChen, Ching-Hsien, Wei-Dong Zhao, Timothy Pang, and Yi-Zheng Lin. "Virtual Metrology of Semiconductor PVD Process Based On Combination of Tree-based Ensemble Model." ISA Transactions 103 (2020): 192.
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