Vorrichtung zum Vermessen oder Bearbeiten von Objekten, Verfahren zum Betreiben
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Vermessung und/oder Bearbeitung von Objekt (7), insbesondere Rasterkraftmikroskop, mit einem Objektträger (6), auf welchem ein Objekt (7) anordenbar ist, mit einem dem Objektträger (6) zugeordneten Arbeitskopf (9) zum Messen oder Bearbeiten des Objekts (7) und mit einem Gestell (2), das einen den Objektträger (6) tragenden Tragelement, insbesondere Tisch (3), und einen den Arbeitskopf (9) haltenden Arm (4) aufweist. Es ist vorgesehen, dass dem Objektträger (6) mehrere individuell betätigbare und verteilt angeordnete Spanneinrichtungen (12) zugeordnet sind, wobei die jeweilige Spanneinrichtung (12) dazu ausgebildet ist, den Objektträger in Abhängigkeit von einem Schwingungsverhalten des Objektträgers (6), des Objekts (7) und/oder des Arbeitskopfs (9) mit einer vorgegebenen Kraft zur lokalen Versteifung zu verspannen, um eine Relativschwingungen von Arbeitskopf (9) und Objekt (7) zueinander minimierende lokale Versteifung des Objektträgers (6) zu bewirken..
| Medienart: |
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Patent| Erscheinungsjahr: |
2024 |
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| Erschienen: |
2024 |
| Enthalten in: |
Europäisches Patentamt - (2024) vom: 04. Apr. Zur Gesamtaufnahme - year:2024 |
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| Sprache: |
Deutsch |
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| Beteiligte Personen: |
WOERLE THOMAS [VerfasserIn] |
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| Links: |
Volltext [kostenfrei] |
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| Anmerkungen: |
Source: www.epo.org (no modifications made), First posted: 2024-04-04, Last update posted on www.tib.eu: 2024-04-15, Last updated: 2024-04-19 |
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| Patentnummer: |
DE102022210368 |
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| Förderinstitution / Projekttitel: |
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| PPN (Katalog-ID): |
EPA00337193X |
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| LEADER | 01000caa a22002652 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | EPA00337193X | ||
| 003 | DE-627 | ||
| 005 | 20240419121557.0 | ||
| 007 | cr uuu---uuuuu | ||
| 008 | 240415s2024 xx |||||o 00| ||ger c | ||
| 035 | |a (DE-627)EPA00337193X | ||
| 035 | |a (EPA)DE102022210368 | ||
| 035 | |a (EPA)88238104 | ||
| 040 | |a DE-627 |b ger |c DE-627 |e rakwb | ||
| 041 | |a ger | ||
| 100 | 0 | |a WOERLE THOMAS |e verfasserin |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Vorrichtung zum Vermessen oder Bearbeiten von Objekten, Verfahren zum Betreiben |
| 264 | 1 | |c 2024 | |
| 336 | |a Text |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |a Computermedien |b c |2 rdamedia | ||
| 338 | |a Online-Ressource |b cr |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Source: www.epo.org (no modifications made), First posted: 2024-04-04, Last update posted on www.tib.eu: 2024-04-15, Last updated: 2024-04-19 | ||
| 520 | |a Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Vermessung und/oder Bearbeitung von Objekt (7), insbesondere Rasterkraftmikroskop, mit einem Objektträger (6), auf welchem ein Objekt (7) anordenbar ist, mit einem dem Objektträger (6) zugeordneten Arbeitskopf (9) zum Messen oder Bearbeiten des Objekts (7) und mit einem Gestell (2), das einen den Objektträger (6) tragenden Tragelement, insbesondere Tisch (3), und einen den Arbeitskopf (9) haltenden Arm (4) aufweist. Es ist vorgesehen, dass dem Objektträger (6) mehrere individuell betätigbare und verteilt angeordnete Spanneinrichtungen (12) zugeordnet sind, wobei die jeweilige Spanneinrichtung (12) dazu ausgebildet ist, den Objektträger in Abhängigkeit von einem Schwingungsverhalten des Objektträgers (6), des Objekts (7) und/oder des Arbeitskopfs (9) mit einer vorgegebenen Kraft zur lokalen Versteifung zu verspannen, um eine Relativschwingungen von Arbeitskopf (9) und Objekt (7) zueinander minimierende lokale Versteifung des Objektträgers (6) zu bewirken. | ||
| 650 | 4 | |a G01B: Measuring length, thickness or similar linear dimensions; measuring angles; measuring areas; measuring irregularities of surfaces or contours | |
| 650 | 4 | |a tec | |
| 650 | 4 | |a phy | |
| 650 | 4 | |a G01Q: Scanning-probe techniques or apparatus; applications of scanning-probe techniques, e.g. scanning-probe microscopy [spm] | |
| 650 | 4 | |a B82Y: Specific uses or applications of nanostructures; measurement or analysis of nanostructures; manufacture or treatment of nanostructures | |
| 650 | 4 | |a 615 | |
| 700 | 0 | |a HENKEL NILS |e verfasserin |4 aut | |
| 700 | 0 | |a LOEDIGE MAXIMILIAN |e verfasserin |4 aut | |
| 773 | 0 | 8 | |i Enthalten in |t Europäisches Patentamt |g (2024) vom: 04. Apr. |
| 773 | 1 | 8 | |g year:2024 |g day:04 |g month:04 |
| 856 | 4 | 0 | |u https://worldwide.espacenet.com/patent/search/family/88238104/publication/DE102022210368A1?q=DE102022210368 |x 0 |z kostenfrei |3 Volltext |
| 912 | |a GBV_EPA | ||
| 951 | |a AR | ||
| 952 | |j 2024 |b 04 |c 04 | ||