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PubPharm (2)
1
High-Precision Ultra-Long Air Slit Fabrication Based on MEMS Technology for Imaging Spectrometers
enthalten in:
Micromachines
| 2023
von
Ren, X.
|
Yao, S.
|
Zhu, J.
| +5
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2
Wire Electrochemical Micromachining of Aluminum Rings for the Fabrication of Short-Millimeter Corrugated Horns
enthalten in:
Micromachines
| 2020
von
Fang, X.
|
Wang, X.
|
Zhu, J.
| +2
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Zeitschrift: Micromachines
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Micromachines
Thema
2
Journal Article
1
DRIE
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MEMS
1
air slit
1
aluminum
1
corrugated horn
1
electrochemical micromachining
1
electroforming
1
helical electrode
1
spectrometer
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1
2023
1
2020
Erscheinungsjahr(e)
Von:
Bis:
Sprache
2
Englisch
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